一、淨化防護(hù)環境
空氣中充(chong)滿灰塵粒子,而(er)這些灰塵粒子(zi)除了影響産品(pǐn)外觀,還會在半(ban)導體中形成導(dao)電。因此,淨化工(gong)程技術在微電(dian)子技術中起着(zhe)十分重要的作(zuo)用,根據産品不(bu)同,生産流程中(zhōng)須建立不同級(ji)别的淨化室。此(ci)外,光纖工業、液(yè)晶顯示工☔業、生(sheng)物工程、醫藥工(gong)業也對淨利❗化(huà)技術及産品有(you)巨大的需求。
二(èr)、防靜電環境
産(chan)品的移動、摩擦(cā)及空氣的流動(dòng)均可能産生上(shang)萬♊伏高壓電荷(hé),形成靜電。在所(suo)有的半導體生(sheng)産領域,由于靜(jìng)電的負面效應(ying),使♻️得保持高水(shui)準的産品質量(liang)和成🤞品率變得(dé)更加困難。缺💔少(shao)靜電控制,将導(dǎo)緻🌍微粒污染,靜(jìng)電放電損壞和(he)設備故障。随着(zhe)電子産⭐業向高(gao)度集⭐成化、精密(mi)化的發展,防靜(jing)電技術成爲🌈電(dian)子制造業⭐重點(diǎn)關注的技術之(zhī)一。
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